| 品牌：MKS | 是否进口：否 | 产地：美国 |
| 加工定制：是 | 型号：1559 | 测量范围：100m3/h |
| 类型：质量流量计 | 精度等级：1 | 公称通径：6mm |
| 适用介质：n2 | 工作压力：1MPa | 工作温度：65℃ |
| 规格：50 |
1559A质量流量控制器
1559是一种通用型弹性密封的质量流量控制器，可在20slm(42.5cfh)到200slm(425cfh)量程范围进行气体的质量流量控制。相比于其它的大流量控制器，1559***的控制阀门能够消除振荡、具有更好的响应时间。它的这个特点是通过使用一“平衡力”阀门的设计来实现的，它能够消除管道压力引起控制阀门内部的非平衡状态。1559的精度为全量程的±1％。
例：型号1559A00421LS1BV
采购序列号
校准气体（SEMI气体编号）*
Helium, He 001
Argon, Ar 004
Hydrogen, H2 007
Nitrogen, N2 013
Oxygen, O2 015
**校准流量SLM－sccm（相当氮气200SLM）
20 021L
50 051L
100 12L
200 22L
装配件（Y）
标配：Swagelok 0.5英寸管 S
选配：SwagelokR8VCRR凸接头 R
选配：SwagelokR8VCOR凸接头 G
阀
常闭 1
电气/通讯连接器
模拟15针D B
密封（Z）
标配: VitonR V
选配: NeopreneR N
选配: BunaN B
选配: KalrezRR K
用于1559A的电缆线
CB259-5-10用来将1559连接至PR4000, 246, 247
（如要在247上连接2个以上的通道，需要添加一个电源，请用CB1559-1-10）
CB147-1-10用来将1559连接至146, 186, 647, 167
CB1559-1-M1用来连接1559A、247D和260PS
